爱德华真空泵IH600/IH1000在半导体行业有着的使用，一般是配合罗茨型真空泵EH2600使用，可以更快的为客户提供所需真空，同时螺杆真空泵在处理水分和小型颗粒，腐蚀性气体非常合适。

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性。