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A 1504 H干式真空泵维修 Alcatel真空泵保养
来源: | 作者:普发真空泵维修销售及配件 | 发布时间: 2022-02-18 | 104 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

  • 得益于多级罗茨泵技术、高效电机以及电加热器的有限使用而实现高能效

  • 工作温度范围宽，防止泵的前驱体发生爆裂或可冷凝物沉积。

  • 高故障间隔平均时间，和低拥有成本

  • 高颗粒耐受性提高工具的正常运行时间

  • 准确控制泵操作条件和空闲模式功能的扩展监控功能

  • 符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准

应用

  • 半导体产业（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）

  • 涂层产业：光伏和 LED

用于严苛工艺的最优解决方案
A4H 系列干式泵气体吞吐量高，颗粒耐受性提高，是半导体和涂料行业中最苛刻工艺的最佳解决方案。该系列泵配备了扩展的温度管理，覆盖高低工作温度，防止副产品形成或抽吸阶段发生爆裂。结合高温精密轴承，工艺可靠性提高。该系列泵符合 Semi S2 和 UL 61010 标准。

A4H 系列：用于 CVD 工艺的最节能解决方案
得益于其多级罗茨泵技术和高效电机，A4 系列是工艺操作中能耗最低的泵之一。与空闲模式功能和用户友好型转速调整相结合，使用这些干式泵可以将运营成本降至最低。