产品介绍：

Edwards iXH 100 是专为绿色制造和苛刻化学工艺加工而设计的全新干泵系列。使用非常低的能源，高效的罗茨机制已开发出来，将输入功率显着降低到 1.3 kW，比上一代干泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。气体阻隔技术和热设计改进使耐腐蚀性比iH系列产品高四倍。先进的粉末处理功能意味着iXH将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性和更长的泵寿命，并降低CVD工艺的功耗，尤其是苛刻化学品。
Edwards iXH 100 系列泵结构紧凑，重量轻，噪音和振动极低，使 iXH 成为 Edwards 系列中用途最广泛的化学干泵。iXH 将改变您对干式真空泵技术的期望，提供真正的好处和更长的正常运行时间，同时将环境影响降至最低。iXH 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显著降低输入功率。该型号没有增压鼓风机泵以增加性能。

功能优势：

1.主要用于苛刻的化学应用

2.峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）

3.极限压力 1.5 x 10-2 托

4.无需预防性维护

5.仅包含主泵

6.3/8英寸快速连接水灌装

7.水电连接配接两半

8.SS水冷系统

9.多模式44slm气体模块