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英福康检漏仪维修UL1000 工厂
来源: | 作者:普发真空泵维修销售及配件 | 发布时间: 2022-02-19 | 108 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

移动式氦检漏仪（干式）

 

ULTRATEST ™ 传感器 技术

 

工业真空和半导体制造中真空泄漏测试的“干式”标准 

 

INFICON UL1000 Fab 氦检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦真空泄漏测试的知名标准。

 

通过仪器的干泵技术消除了被测部件或设备可能受到碳氢化合物或颗粒的污染。UL1000 Fab 在高性能、无与伦比的稳健性和可负担性之间实现了最佳折衷。它提供最先进的 10 -12 mbar*l/s 检测限以及合理的短抽空和响应时间。紧凑的设计提供了高机动性，可以轻松进入空间受限的维护区域。可选择的背景抑制 (iZERO) 可在比现有背景水平低至少 20 年的时间内进行连续泄漏测试。 

 

所有功能使您能够缩短泄漏测试的时间，同时确保可以在经济规模上识别所有泄漏。

优点

  • 通过快速抽空和响应时间最大限度地减少泄漏测试工作

  • 通过使用可选的背景抑制 (iZERO) 避免多次泄漏测试

  • 通过可操作的设计，可以轻松进入空间受限的维护区域

  • 强大的两个热灯丝离子源（3 年保修）和逆流真空系统使总拥有成本 (TCO) 低

  • 易于使用，带有可旋转显示屏、光学和声音泄漏指示以及可选的遥控器

  • 通过带有自动校准程序的内置测试漏孔实现低维护

典型应用

  • 对洁净度要求高的工业真空设备制造

  • 在将它们安装到现有工具中之前真空组件或子组件

  • 真空工具的维护工作，有或没有他们自己的泵的支持

  • 工艺气体系统的检查和安装

  • 半导体、平板显示器或太阳能电池制造