希文真空
专业真空泵维修
移动式氦检漏仪(干式)
ULTRATEST ™ 传感器 技术
专为满足半导体应用中的泄漏检查需求而设计。
它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速准确的测试结果和可靠性等特点。
UL3000 FAB ULTRA 型号的突出优势
由于更高的抽气速度,抽空(抽空)时间更快。
由于低维护罗茨低真空泵,降低了总拥有成本 (TCO)。
由于 HYDRO·S 软件消除了水蒸气背景,因此可以尽早开始泄漏检查,从而可以快速达到敏感的测量范围
UL3000 Fab ULTRA 还通过使用长度可达 10 m 的久经考验的吸枪线 SL3000 提供改进的吸枪能力。SL3000 有一个单独的连接端口,因此不需要连接到真空入口。
快速的结果
改进的真空系统带有低维护真空泵,可以检测从大气压开始的泄漏。坚固的质谱仪系统确保长时间运行和低维护成本。
可旋转显示和远程控制用户界面
新的触摸屏显示器即使远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户引导的菜单结构轻松操作,即使对于没有经验的操作员也是如此。可以通过智能手机或平板电脑对 UL3000 Fab (ULTRA) 进行无线控制 - 无需特殊软件或应用程序。通过按钮记录和存储的测试结果可以传输到其他存储介质进行进一步分析。
超薄设计,提高操控性
低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤薄的外壳使 UL3000 Fab (ULTRA) 即使在狭小的空间中也能保持良好的移动性。
规格UL3000 工厂UL3000 Fab ULTRA分钟。氦气的可检测泄漏率(真空法)<5 x 10-12 毫巴升/秒分钟。氦气可检测泄漏率(吸枪模式)<5 x 10-8 mbar l/s最大限度。入口压力(MASSIVE 模式)1000 毫巴抽空时的抽速>32 立方米/小时>36 立方米/小时氦气抽速(高灵敏度模式 ULTRA)4升/秒响应时间<1 秒准备运行的时间<3 分钟可检测质量(ULTRATEST 传感器技术)2, 3, 4 (H 2 , 3 He, He)离子源2 根灯丝,铱/氧化钇涂层测试端口DN 25 KF可调触发器4界面2 个 USB、以太网/LAN电源电压100 至 240 伏 50/60 赫兹(交流)能量消耗典型值。最大 700 伏安 1500 伏安尺寸(长 x 宽 x 高)1050 x 472 x 987 毫米(42 x 21 x 34 英寸)重量118 公斤132 公斤允许的环境温度范围(运行期间)10 至 40 °CUL3000 Fab ULTRA附加的功能-HYDRO·S,吸枪管 SL3000 的独立端口,真空软管支架
规格
UL3000 工厂
UL3000 Fab ULTRA
附加的功能
HYDRO·S,吸枪管 SL3000 的独立端口,真空软管支架